产品介绍

质量流量控制器

质量流量控制器是半导体制造设备的关键，其利用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同气体进行流量测量及控制。

质量流量控制器的应用十分广泛，可应对毫升级至数百升级的气体流量控制范围的工况 需求，

性能特性

• 高精度

• 高响应

• 可应对多种气体

• 可应对多种量程

• 可采用多种材质密封

• 温度不敏感

• 压力不敏感

应用领域

• 高端半导体设备

• 太阳能光伏设备

• 燃料电池

• 石油化工

• 生物科技/制药工业

• 精密气体混合分析

• 表面处理中的气体注入

• 组件泄露检测

• 光纤/玻璃制造

• 研发及实验室

• 环境监测

• 工业生产

内部结构及工作原理

内部结构：

1. 传感器部分： MFC内部通常包括一个或多个传感器，用于测量气体流经设备的质量流量。这些传感器通常基于热质量测量原理或者压差测量原理。

2. 流量调节部分： 质量流量控制器还包括一个流量调节部分，通常由阀门或类似装置组成，用于调整气体通过MFC的流量。

3. 电子控制单元：MFC内部还有一个电子控制单元，负责处理传感器的输出信号，并通过反馈机制控制流量调节部分，以保持设定的质量流量。

工作原理：

1. 传感器测量： MFC的传感器测量气体流经设备的实时质量流量。对于热质量测量型MFC，其中的传感器通常是热敏元件，测量气体流过时对热量的吸收或散发。

2. 信号处理： 传感器输出的信号被电子控制单元接收并进行处理。这包括将传感器信号转换为质量流量的度量单位，通常是标准体积流量单位。

3. 流量调节： 电子控制单元根据设定的目标质量流量与实际测量值之间的差异，通过控制阀门或其他流量调节装置来调整气体流量，以保持所需的流量水平。

4. 反馈控制： MFC通过不断测量和调整，实现了质量流量的稳定控制。通过反馈机制，MFC能够快速响应变化，保持设定的质量流量不受外部条件的影响。

总体而言，质量流量控制器通过精密的传感器和流量调节机制，实现了对气体流量的高